中走絲線切割加工中同內圓切割技術相比還是有其明顯的弱點，

一、片厚平均誤差較大（約為內圓切割技術2倍）。

二、切割過程中智能檢測控制不容易實現。

三、切割過程的成功率要求較高，風險大，一但斷絲而不可挽救時，直接浪

費一根單晶棒。

四、不能實現單片質量控制，一次切割完成后，才能檢測一批圓片的切割質

量，并且圓片之間切割質量也不相同。

在這些方面，電火花線切割內圓切割技術卻顯示出其優勢來。具體表現在：

    a、自動、單片方式切換操作方便性。

    b、小批量多規格加工時靈活的加工可調性。

    c、切片精度高，切片成本低，同規格級的內圓切片機價格為線切割機價格1/3～1/4，線切割機還需配置專用粘料機，每片都可調整。

    d、低成本的輔料（線切割機磨料及磨料液要定時更換）。

    e、不同片厚不同棒徑所需較小的調整時間。

f、修刀、裝刀方便。